[发明专利]半导体器件及其制造方法无效
申请号: | 200410069773.1 | 申请日: | 2004-07-19 |
公开(公告)号: | CN1591904A | 公开(公告)日: | 2005-03-09 |
发明(设计)人: | 福村达也;池田良广;鸣海俊一;武末出美 | 申请(专利权)人: | 株式会社瑞萨科技 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L27/115;H01L27/105;H01L21/8247;H01L21/8239 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 | 代理人: | 王茂华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】:
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