[发明专利]形成多晶硅薄膜的方法，包含多晶硅薄膜的薄膜晶体管及其制造方法无效
| 申请号： | 200410075872.0 | 申请日： | 2004-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN1770472A | 公开（公告）日： | 2006-05-10 |
| 发明（设计）人： | 朴敬培;野口隆;赵世泳;金道暎;权章渊 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;H01L21/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 封新琴;巫肖南 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 形成 多晶 薄膜 方法 包含 薄膜晶体管 及其 制造 | ||
【权利要求书】：
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