[发明专利]隧穿损耗探针扫描显微镜及其测量方法无效
申请号: | 200410077617.X | 申请日: | 2004-12-28 |
公开(公告)号: | CN1632517A | 公开(公告)日: | 2005-06-29 |
发明(设计)人: | 张进修;丁喜冬;熊小敏 | 申请(专利权)人: | 中山大学 |
主分类号: | G01N13/12 | 分类号: | G01N13/12;G01N13/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 510275广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 损耗 探针 扫描 显微镜 及其 测量方法 | ||
【权利要求书】:
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