[发明专利]控制蚀刻工序的精确度和再现性的方法无效
| 申请号： | 200410083770.3 | 申请日： | 2004-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN1609711A | 公开（公告）日： | 2005-04-27 |
| 发明（设计）人： | 大卫·幕伊;刘炜;佐佐野弘树 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 控制 蚀刻 工序 精确度 再现 方法 | ||
【权利要求书】：
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