[发明专利]制造高迁移率场效应晶体管的结构和方法有效
申请号: | 200410085064.2 | 申请日: | 2004-10-12 |
公开(公告)号: | CN1607677A | 公开(公告)日: | 2005-04-20 |
发明(设计)人: | 杰克·O·楚;史蒂文·J·科尔斯特;欧阳齐庆 | 申请(专利权)人: | 国际商业机器公司 |
主分类号: | H01L29/12 | 分类号: | H01L29/12;H01L29/772;H01L29/78;H01L21/335 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王永刚 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 迁移率 场效应 晶体管 结构 方法 | ||
【说明书】:
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