[发明专利]离子注入电铸结构材料及其制备方法无效
申请号: | 200410089649.1 | 申请日: | 2004-10-29 |
公开(公告)号: | CN1611632A | 公开(公告)日: | 2005-05-04 |
发明(设计)人: | 新田耕司;稻泽信二;羽贺刚 | 申请(专利权)人: | 住友电气工业株式会社 |
主分类号: | C23C14/48 | 分类号: | C23C14/48;G03F7/039 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 封新琴;巫肖南 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 离子 注入 电铸 结构 材料 及其 制备 方法 | ||
【说明书】:
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