[发明专利]气相沉积掩模和有机电致发光显示设备制造方法有效
| 申请号： | 200410091682.8 | 申请日： | 2004-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN1652650A | 公开（公告）日： | 2005-08-10 |
| 发明（设计）人： | 坂本义明 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/12 | 分类号： | H05B33/12;H05B33/14;H05B33/10;C23C16/04 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵淑萍 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 沉积 有机 电致发光 显示 设备 制造 方法 | ||
【说明书】：
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