[发明专利]基板处理装置、细缝喷嘴、被填充体的液体填充度判定机构及气体混入度判定机构有效
| 申请号： | 200410092556.4 | 申请日： | 2004-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN1618527A | 公开（公告）日： | 2005-05-25 |
| 发明（设计）人： | 高木善则 | 申请（专利权）人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10;B05C11/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 经志强;潘培坤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 处理 装置 细缝 喷嘴 填充 液体 判定 机构 气体 混入 | ||
【说明书】：
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