[发明专利]电化学深刻蚀方法及其装置无效
申请号: | 200410099139.2 | 申请日: | 2004-12-28 |
公开(公告)号: | CN1631764A | 公开(公告)日: | 2005-06-29 |
发明(设计)人: | 王连卫;陈瑜;赖宗声 | 申请(专利权)人: | 上海纳晶科技有限公司;华东师范大学 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00 |
代理公司: | 上海德昭专利事务所 | 代理人: | 程宗德 |
地址: | 200062*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电化学 深刻 方法 及其 装置 | ||
【说明书】:
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