[发明专利]清洗方法、清洗装置及电光学装置无效
| 申请号： | 200410100021.7 | 申请日： | 2004-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN1623688A | 公开（公告）日： | 2005-06-08 |
| 发明（设计）人： | 细田登志子;四谷真一 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/12;C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洗 方法 装置 光学 | ||
【权利要求书】：
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