[发明专利]采用压电致动器移动物体的系统和方法有效
| 申请号： | 200410100797.9 | 申请日： | 2004-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN1721993A | 公开（公告）日： | 2006-01-18 |
| 发明（设计）人： | S·G·M·亨德里克斯;T·A·马特塔亚尔;G·J·C·C·M·里希尔斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00;H01L41/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 采用 压电 致动器 移动 物体 系统 方法 | ||
【说明书】：
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