[发明专利]制备大尺寸高均匀CVD ZnS材料的设备及其工艺有效
| 申请号： | 200410102512.5 | 申请日： | 2004-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN1796286A | 公开（公告）日： | 2006-07-05 |
| 发明（设计）人： | 苏小平;杨海;余怀之;霍承松;鲁泥藕;石红春;付利刚 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;北京国晶辉红外光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C01G9/08 | 分类号： | C01G9/08 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程凤儒 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 尺寸 均匀 cvd zns 材料 设备 及其 工艺 | ||
【说明书】：
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