[发明专利]一种强电离放电非平衡等离子源及制备等离子的方法有效
| 申请号： | 200410155136.6 | 申请日： | 2004-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN1596060A | 公开（公告）日： | 2005-03-16 |
| 发明（设计）人： | 白敏冬;张芝涛;白希尧;白敏菂;杨波 | 申请（专利权）人： | 大连海事大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 大连八方专利事务所 | 代理人： | 任洪成 |
| 地址： | 116024辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电离 放电 平衡 离子源 制备 等离子 方法 | ||
【权利要求书】：
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