[实用新型]一种去除纳米氧化铝模板背面铝层的装置无效
| 申请号： | 200420080270.X | 申请日： | 2004-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN2736371Y | 公开（公告）日： | 2005-10-26 |
| 发明（设计）人： | 贾冲;姚连增;蔡维理;李晓光 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F1/20 |
| 代理公司： | 合肥华信专利商标事务所 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230026*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 去除 纳米 氧化铝 模板 背面 装置 | ||
【说明书】：
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