[实用新型]聚焦镜球差与焦斑能量分布测量仪无效
| 申请号： | 200420090573.X | 申请日： | 2004-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN2739607Y | 公开（公告）日： | 2005-11-09 |
| 发明（设计）人： | 刘丹;阎岩;任冰强;黄惠杰;赵永凯;王向朝;张维新;王树森 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 聚焦 镜球差 能量 分布 测量仪 | ||
【权利要求书】：
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