[发明专利]用偏振光的光刻印刷有效
| 申请号： | 200480000139.0 | 申请日： | 2004-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN1698011A | 公开（公告）日： | 2005-11-16 |
| 发明（设计）人： | 纳毕拉·巴巴阿里;贾斯汀·克鲁瑟;哈里·希威尔 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03B27/54 | 分类号： | G03B27/54;G03B27/72;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蒋世迅 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 偏振光 光刻 印刷 | ||
【权利要求书】：
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