[发明专利]用于掩模修复的电子束处理技术无效
| 申请号： | 200480002281.9 | 申请日： | 2004-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN1739066A | 公开（公告）日： | 2006-02-22 |
| 发明（设计）人： | D·K·斯图尔特;J·D·小卡西;J·贝蒂;C·R·穆西尔;S·伯格;S·J·西布兰迪 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G21K5/10;C23F1/00;C23F1/02;C23F3/00;C03C15/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;梁永 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 修复 电子束 处理 技术 | ||
【权利要求书】：
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