[发明专利]具有复合透明窗口的化学机械抛光垫无效
| 申请号： | 200480003033.6 | 申请日： | 2004-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN1744968A | 公开（公告）日： | 2006-03-08 |
| 发明（设计）人： | 阿巴尼什沃尔·普拉萨德 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24D13/14;B24D3/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉;贾静环 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 复合 透明 窗口 化学 机械抛光 | ||
【说明书】：
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