[发明专利]放射线敏感性树脂组合物、其制造法以及使用其的半导体装置的制造方法有效
| 申请号： | 200480003908.2 | 申请日： | 2004-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN1748181A | 公开（公告）日： | 2006-03-15 |
| 发明（设计）人： | 村上健一;佐佐卓;吉川雄裕;西川雅人;木村健;木下义章 | 申请（专利权）人： | 飞索有限责任公司;AZ电子材料(日本)株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;C08L101/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 钟晶 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 放射线 敏感性 树脂 组合 制造 以及 使用 半导体 装置 方法 | ||
【说明书】：
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