[发明专利]板状工件研磨装置以及板状工件的研磨方法无效
| 申请号： | 200480004657.X | 申请日： | 2004-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN1819895A | 公开（公告）日： | 2006-08-16 |
| 发明（设计）人： | 铃木敏弘;铃木伸彦;田代浩 | 申请（专利权）人： | 株式会社丸源铁工所;山梨松下电工株式会社 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B24B41/06;B23Q11/00 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工件 研磨 装置 以及 方法 | ||
【权利要求书】：
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