[发明专利]溅射靶、光信息记录介质用薄膜及其制造方法有效
申请号: | 200480005976.2 | 申请日: | 2004-02-03 |
公开(公告)号: | CN1756857A | 公开(公告)日: | 2006-04-05 |
发明(设计)人: | 细野秀雄;植田和茂;矢作政隆;高见英生 | 申请(专利权)人: | 株式会社日矿材料 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;G11B7/24;G11B7/26 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 陆锦华;樊卫民 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 溅射 信息 记录 介质 薄膜 及其 制造 方法 | ||
【说明书】:
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