[发明专利]用于蚀刻铜表面的溶液和在铜表面上沉积金属的方法有效
| 申请号： | 200480008258.0 | 申请日： | 2004-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN1764739A | 公开（公告）日： | 2006-04-26 |
| 发明（设计）人： | 哈特穆特·马尔考;克里斯蒂安·斯帕林 | 申请（专利权）人： | 埃托特克德国有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F3/06;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 于辉 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 蚀刻 表面 溶液 表面上 沉积 金属 方法 | ||
【权利要求书】：
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