[发明专利]用于处理装置的支承系统有效
申请号: | 200480010497.X | 申请日: | 2004-06-09 |
公开(公告)号: | CN1777707A | 公开(公告)日: | 2006-05-24 |
发明(设计)人: | N·斯佩恰莱;G·瓦朗特;D·克里帕;V·波泽蒂;F·普雷蒂 | 申请(专利权)人: | ETC外延技术中心有限公司 |
主分类号: | C30B25/12 | 分类号: | C30B25/12;C23C16/458 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 蒋旭荣 |
地址: | 意大利*** | 国省代码: | 意大利;IT |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 处理 装置 支承 系统 | ||
【权利要求书】:
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