[发明专利]具有高的湿蚀刻速率的硅氧烷树脂型抗反射涂料组合物无效
| 申请号： | 200480011376.7 | 申请日： | 2004-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN1780874A | 公开（公告）日： | 2006-05-31 |
| 发明（设计）人： | B·钟;E·S·莫耶 | 申请（专利权）人： | 陶氏康宁公司 |
| 主分类号： | C08G77/38 | 分类号： | C08G77/38;C08L83/04;C09D183/04 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 邓毅 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 蚀刻 速率 硅氧烷 树脂 反射 涂料 组合 | ||
【说明书】：
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