[发明专利]感光树脂组合物和使用该感光树脂组合物的干膜抗蚀剂无效
| 申请号： | 200480012068.6 | 申请日： | 2004-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN1784633A | 公开（公告）日： | 2006-06-07 |
| 发明（设计）人： | 金奉玘;朴圣模;朴赞硕 | 申请（专利权）人： | 东进世美肯株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 南霆;朱梅 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感光 树脂 组合 使用 干膜抗蚀剂 | ||
【说明书】：
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