[发明专利]荫罩保持装置有效
| 申请号： | 200480014707.2 | 申请日： | 2004-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1795283A | 公开（公告）日： | 2006-06-28 |
| 发明（设计）人： | 沃尔特·弗兰肯;格哈德·K·斯特劳赫 | 申请（专利权）人： | 艾克斯特朗股份公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;G03F1/14;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 王景刚;王冉 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 保持 装置 | ||
【权利要求书】：
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