[发明专利]硅薄膜退火方法和由该方法制造的多晶硅薄膜有效
| 申请号： | 200480014798.X | 申请日： | 2004-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN1795563A | 公开（公告）日： | 2006-06-28 |
| 发明（设计）人： | 卢在相;洪沅义 | 申请（专利权）人： | 卢在相 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 樊卫民;杨青 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 退火 方法 制造 多晶 | ||
【说明书】：
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