[发明专利]用于厚膜带的离子束辅助高温超导体(HTS)沉积无效
| 申请号： | 200480015467.8 | 申请日： | 2004-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN1798617A | 公开（公告）日： | 2006-07-05 |
| 发明（设计）人： | V·塞尔瓦曼尼克姆;李喜均 | 申请（专利权）人： | 美国超能公司 |
| 主分类号： | B05D5/12 | 分类号： | B05D5/12;C23C14/00;H01L39/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 徐迅 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 厚膜带 离子束 辅助 高温 超导体 hts 沉积 | ||
【说明书】：
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