[发明专利]高频等离子体射束源及喷射表面的方法有效
| 申请号： | 200480015920.5 | 申请日： | 2004-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN1802724A | 公开（公告）日： | 2006-07-12 |
| 发明（设计）人： | R·贝克曼 | 申请（专利权）人： | 莱博德光学有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯;张志醒 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高频 等离子体 射束源 喷射 表面 方法 | ||
【权利要求书】：
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