[发明专利]多化学剂电镀系统无效
| 申请号： | 200480016732.4 | 申请日： | 2004-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN1985026A | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | M·X·杨;M·席;R·C·艾尔万杰尔;E·B·布莱彻尔;B·多诺索;L·L·庞;S·谢尔曼;H·胡;A·N·阮;A·N·勒纳尔;A·L·达布勒;A·山姆伽桑德拉姆;T·石川;Y·拉宾诺维奇;D·鲁波密尔斯基;Y－F·E·莫;S·T·阮 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;C25D19/00;C25D17/02 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学剂 电镀 系统 | ||
【权利要求书】：
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