[发明专利]从具有流量控制装置的气体供给设备向容器分流地供给气体的气体分流供给装置及气体分流供给方法有效
| 申请号： | 200480017296.2 | 申请日： | 2004-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN1809794A | 公开（公告）日： | 2006-07-26 |
| 发明（设计）人： | 杉山一彦;池田信一;西野功二;土肥亮介;上野山丰己 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金;东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏;杨松龄 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 流量 控制 装置 气体 供给 设备 容器 分流 方法 | ||
【权利要求书】：
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