[发明专利]用于形成自组装单层的化合物的合成方法、形成自组装单层的化合物和用于半导体组件的层结构无效
申请号: | 200480017301.X | 申请日: | 2004-06-18 |
公开(公告)号: | CN1809578A | 公开(公告)日: | 2006-07-26 |
发明(设计)人: | F·埃芬伯格;M·许茨;S·迈施;S·塞弗里茨;G·施密德;M·哈利克;H·克劳克;U·茨施尚;S·霍尔伯格 | 申请(专利权)人: | 因芬尼昂技术股份公司 |
主分类号: | C07F7/12 | 分类号: | C07F7/12;C07F7/14;H01L51/05 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 庞立志;赵苏林 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 形成 组装 单层 化合物 合成 方法 半导体 组件 结构 | ||
【权利要求书】:
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