[发明专利]提高感应耦合等离子体均匀性的侧壁磁体及与其使用的护罩有效
| 申请号： | 200480017849.4 | 申请日： | 2004-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN1813332A | 公开（公告）日： | 2006-08-02 |
| 发明（设计）人： | 龚则敬;唐先民;约翰·福斯特;丁培军;马克·施韦策;基斯·A·米勒;伊利娅·拉维斯凯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 提高 感应 耦合 等离子体 均匀 侧壁 磁体 与其 使用 护罩 | ||
【说明书】：
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