[发明专利]正型抗蚀剂组合物及使用其形成抗蚀图案的方法有效
| 申请号： | 200480018215.0 | 申请日： | 2004-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN1813222A | 公开（公告）日： | 2006-08-02 |
| 发明（设计）人： | 林亮太郎;竹下优;岩井武 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;C08F220/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 程金山 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 正型抗蚀剂 组合 使用 形成 图案 方法 | ||
【权利要求书】：
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