[发明专利]用于处理微特征工件的、具有流动搅拌器和/或多个电极的方法和系统无效
| 申请号： | 200480019927.4 | 申请日： | 2004-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN1960799A | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | P·R·麦克休;G·J·威尔逊;D·J·伍德拉夫;N·齐默尔曼;J·J·埃里克森 | 申请（专利权）人： | 塞米用具公司 |
| 主分类号： | B01F11/00 | 分类号： | B01F11/00;C25D7/12;C25D17/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蒋旭荣 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 处理 特征 工件 具有 流动 搅拌器 电极 方法 系统 | ||
【说明书】：
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