[发明专利]用于通用可编程半导体处理系统的结构及其方法

权利要求书

1.一种用于最优化包括软件控制程序的半导体处理系统中的一组步骤的方法，其中，所述半导体处理系统包括第一功能、第二功能、和第三功能，并进一步包括用于存储一组变量的存储器，并且其中，该组步骤进一步包括第一步骤、第二步骤、和第三步骤，所述方法包括：

在编辑器应用程序上生成所述第一步骤，其中，将所述第一功能添加到所述第一步骤，并且如果需要，则添加第一组用户输入指令；

在所述编辑器应用程序上生成所述第二步骤，其中，将所述第二功能添加到所述第二步骤，并且如果需要，则添加第二组用户输入指令；

在所述编辑器应用程序上生成所述第三步骤，其中，将所述第三功能添加到所述第三步骤，并且如果需要，则添加第三组用户输入指令；

以适当的顺序安排所述第一步骤、所述第二步骤、和所述第三步骤；

将该组步骤传送到所述半导体处理系统；

执行该组步骤；

将一组结果存储在该组变量中；并且，如果需要，

由该组变量生成报表。

2.根据权利要求1所述的方法，在所述半导体处理系统上执行该组步骤。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，该组步骤可以通过自动计时器来执行。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述半导体处理系统是等离子体处理系统。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述报表可以从所述半导体处理系统用电子方式检索。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述报表是电子数据表格式的。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述报表是文本格式的。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述报表是数据记录格式的。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述报表是二进制格式的。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，所述报表可以被统计地分析。

11.根据权利要求1所述的方法，其中，所述报表可以通过所述半导体处理系统来分析。

12.根据权利要求1所述的方法，其中，该组步骤可以在制造所述半导体处理系统期间被传送到所述半导体处理系统。

13.根据权利要求1所述的方法，其中，该组步骤可以在所述半导体处理系统已经被安装在半导体制造设备上时被传送到所述半导体处理系统。

14.根据权利要求1所述的方法，其中，该组步骤被混淆。

15.根据权利要求1所述的方法，其中，该组步骤被加密。

16.根据权利要求1所述的方法，其中，所述软件控制程序仅可以用口令被访问。

17.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述第一步骤中，输入用户输入是可选的。

18.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述第一步骤中，检查表被呈现给用户用于手动执行。

19.根据权利要求1所述的方法，其中，该组步骤可以由远程主机来执行。

20.根据权利要求1所述的方法，其中，所述半导体处理系统能够用最少的用户输入实质地操作。