[发明专利]用于原位流量检验和校准的系统和方法有效
| 申请号： | 200480021571.8 | 申请日： | 2004-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN1829903A | 公开（公告）日： | 2006-09-06 |
| 发明（设计）人： | 卡韦赫·扎卡尔;迈克尔·F·拉巴锡;马克·J·夸拉蒂耶洛 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 韩宏 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 原位 流量 检验 校准 系统 方法 | ||
【说明书】：
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