[发明专利]用于铜的化学机械平坦化的浆料和方法无效
| 申请号： | 200480021645.8 | 申请日： | 2004-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN1863883A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | S·V·巴布;沙拉斯·海格德;苏尼尔·扎;尤达雅·B·帕特里;洪荣基 | 申请（专利权）人： | 克莱麦克斯工程材料有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09G1/04;B24B1/00;C01G39/02 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 肖善强 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 化学 机械 平坦 浆料 方法 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于克莱麦克斯工程材料有限公司，未经克莱麦克斯工程材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200480021645.8/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：车载导航器的固定装置
- 下一篇：用于船体集成式海水逆渗透系统的方法及装置
