[发明专利]用于电化学机械抛光的导电抛光物件无效
| 申请号： | 200480022037.9 | 申请日： | 2004-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN1829587A | 公开（公告）日： | 2006-09-06 |
| 发明（设计）人： | 胡永崎;阿莲恩·度布斯特;安托恩·P·玛恩斯;斯坦·D·蔡;保罗·D·布特尔菲尔德;王艳;丰·Q·刘;森·S·诺;陈梁韵;元·A·田;柯森厚;罗伯特·A·埃瓦得 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/321 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 电化学 机械抛光 导电 抛光 物件 | ||
【权利要求书】：
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