[发明专利]通过多向变形形成溅射制品的方法无效
| 申请号： | 200480022803.1 | 申请日： | 2004-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN1833048A | 公开（公告）日： | 2006-09-13 |
| 发明（设计）人： | 埃里克·范斯普雷克尔森;克里斯托弗·A·迈卡卢克;罗伯特·B·福德 | 申请（专利权）人： | 卡伯特公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉;贾静环 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 通过 多向 变形 形成 溅射 制品 方法 | ||
【说明书】：
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