[发明专利]用于微电子设备的剥离和清洁组合物有效
| 申请号： | 200480023835.3 | 申请日： | 2004-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN1839355A | 公开（公告）日： | 2006-09-27 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·M·伊拉尔迪;戴维·C·斯基;肖恩·M·凯恩;卡伦·E·特罗瓦利 | 申请（专利权）人： | 马林克罗特贝克公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/00;C11D11/00;C11D7/04;C11D7/32;C11D7/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 封新琴;巫肖南 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 微电子 设备 剥离 清洁 组合 | ||
【说明书】：
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