[发明专利]感光性树脂组合物、使用该组合物的感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷电路板的制造方法以及光固化物的去除方法有效
申请号: | 200480024300.8 | 申请日: | 2004-08-25 |
公开(公告)号: | CN1842742A | 公开(公告)日: | 2006-10-04 |
发明(设计)人: | 宫坂昌宏;伊藤俊树 | 申请(专利权)人: | 日立化成工业株式会社 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/42;H05K3/06 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 钟晶 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 使用 元件 抗蚀剂 图案 形成 方法 印刷 电路板 制造 以及 光固化 去除 | ||
【权利要求书】:
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