[发明专利]用于电互连的掺杂合金、其制造方法及其用途无效
申请号: | 200480025512.8 | 申请日: | 2004-09-07 |
公开(公告)号: | CN1943030A | 公开(公告)日: | 2007-04-04 |
发明(设计)人: | 南希·迪安;詹姆斯·弗林特 | 申请(专利权)人: | 霍尼韦尔国际公司 |
主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L23/52;H01L29/40;H01L21/78 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 范赤;段晓玲 |
地址: | 美国新*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 互连 掺杂 合金 制造 方法 及其 用途 | ||
【说明书】:
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