[发明专利]真空成膜方法、装置、以及用其制造的滤光片无效
| 申请号： | 200480025541.4 | 申请日： | 2004-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN1846013A | 公开（公告）日： | 2006-10-11 |
| 发明（设计）人： | 能势功一;山辺真一;床本勲;堀崇展;生水出淳史;近藤隆彦 | 申请（专利权）人： | 新明和工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;G02B5/28 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 衷诚宣 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 方法 装置 以及 制造 滤光 | ||
【权利要求书】：
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