[发明专利]母盘的制造方法、母盘的制造装置、母盘的移动距离差检测方法及母盘的移动距离差检测装置无效
| 申请号： | 200480025632.8 | 申请日： | 2004-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN1846257A | 公开（公告）日： | 2006-10-11 |
| 发明（设计）人： | 佃雅彦;阿部伸也 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G11B7/085 | 分类号： | G11B7/085;G11B7/26;G11B19/20;G11B19/28;G03F7/20;G01B7/00;G01B11/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 母盘 制造 方法 装置 移动 距离 检测 | ||
【说明书】：
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