[发明专利]长寿命溅射靶无效
| 申请号： | 200480025855.4 | 申请日： | 2004-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN1849408A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | R·佩罗特;T·J·洪特;H·J·柯尼希斯曼;P·S·吉尔曼 | 申请（专利权）人： | 普莱克斯S·T·技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;B23K28/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 廖凌玲 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 寿命 溅射 | ||
【权利要求书】：
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