[发明专利]使用参考结构元件测定结构元件的横断面特征的系统和方法有效
| 申请号： | 200480025993.2 | 申请日： | 2004-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN1849497A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | Z·罗森伯格;O·梅纳德瓦;A·丹 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G01B15/04 | 分类号： | G01B15/04;H01J37/28;G01R31/305 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 张政权 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 使用 参考 结构 元件 测定 横断面 特征 系统 方法 | ||
【说明书】：
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