[发明专利]研磨布及其加工方法及使用该研磨布的基板的制造方法有效
| 申请号： | 200480026635.3 | 申请日： | 2004-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN1852786A | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 添田康嗣 | 申请（专利权）人： | 信越半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王玉双;高龙鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 及其 加工 方法 使用 制造 | ||
【权利要求书】：
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