[发明专利]液态金属离子源及其控制方法无效
| 申请号： | 200480027321.5 | 申请日： | 2004-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN1856858A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 亚设·珀尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J27/22 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 液态 金属 离子源 及其 控制 方法 | ||
【说明书】：
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