[发明专利]用于多光束偏转和强度稳定的装置

权利要求书

1.一种用于扫描系统中的多光束发生器，所述发生器包括：

声光偏转器，所述声光偏转器在使用期间接收激光束并产生偏转光束，所述偏转光束的偏转由声光偏转器控制信号确定；

衍射元件，所述衍射元件从所述偏转光束产生输入光束阵列；以及

控制电路，所述控制电路在操作期间产生所述声光偏转器控制信号并根据所述扫描系统中的误差来改变第一控制信号的特性。

2.根据权利要求1所述的发生器，其中，所述控制电路接收反馈信号，所述反馈信号是输出光束阵列离开期望位置的偏转误差的量度，所述输出光束阵列是从所述输入光束阵列得到的，并且其中所述控制电路产生所述声光偏转器控制信号以减小所述偏转误差。

3.根据权利要求1所述的发生器，还包括声光调制器，所述声光调制器接收所述光束阵列并根据第二控制信号对所接收光束中的每个单独进行调制以产生输出光束阵列。

4.根据权利要求3所述的发生器，其中，所述控制信号包括校正表，所述控制电路用所述校正表产生所述声光偏转器控制信号。

5.根据权利要求4所述的发生器，其中，所述表存储与所述扫描系统有关的条位置误差的校正值。

6.根据权利要求5所述的发生器，其中，所述表存储所述扫描系统内扫描线上光束速度变化的校正值。

7.根据权利要求5所述的发生器，其中，所述表存储各小平面位置误差的校正值，所述各小平面位置误差可归因于所述扫描系统中的多边形反射镜。

8.根据权利要求4所述的发生器，其中，所述表存储与所述扫描系统有关的强度误差的校正值。

9.根据权利要求8所述的发生器，其中，所述表存储所述扫描系统内扫描线强度变化的校正值。

10.根据权利要求8所述的发生器，其中，所述表存储来自所述声光调制器内的声场条偏转的强度变化所用的校正值。

11.根据权利要求8所述的发生器，其中，所述表存储由作为所述扫描系统一部分的多边形扫描元件中反射率变化引起的强度变化所用的校正值。

12.一种光束偏转控制系统，包括：

发生器，所述发生器在操作期间产生第一光束阵列；

扫描元件，所述扫描元件在操作期间接收从所述第一光束阵列得到的第二光束阵列并用所述第二光束阵列在扫描区域上扫描；

偏转测量电路，所述偏转测量电路包括V字形图案检测器，所述扫描的光束阵列中的一条光束在操作期间对所述V字形图案检测器进行扫描，所述V字形图案检测器产生信号，所述信号是所述扫描的光束阵列在与扫描方向横交的方向上的位置的量度，所述V字形图案检测器包括倾斜狭缝，所述一条光束通过所述倾斜狭缝；以及

控制电路，所述控制电路在操作期间接收来自所述偏转测量电路的反馈信号，所述反馈信号是所述输出光束阵列与期望位置之间偏转误差的量度，其中所述控制电路产生第一控制信号以减小所述偏转误差。

13.根据权利要求12所述的系统，其中，所述发生器包括：

声光偏转器，所述声光偏转器在使用期间接收激光束并产生偏转光束，所述偏转光束的偏转由第一控制信号确定；以及

衍射元件，所述衍射元件从所述偏转光束产生所述第一光束阵列。

14.根据权利要求12所述的系统，其中，所述V字形图案检测器还包括一个竖直狭缝，所述一条光束通过所述竖直狭缝。

15.根据权利要求12所述的系统，其中，所述V字形图案检测器还包括一个竖直狭缝和多个倾斜狭缝，所述一条光束通过所述竖直狭缝和所述多个倾斜狭缝，所述第一次提到的倾斜狭缝是所述多个倾斜狭缝之一。

16.根据权利要求12所述的系统，其中，所述V字形图案检测器还包括一个竖直狭缝、第一多个倾斜狭缝和第二多个倾斜狭缝，所述第二多个倾斜狭缝与所述第一多个倾斜狭缝方向对称，其中所述一条光束通过所述竖直狭缝以及所述第一多个狭缝和第二多个狭缝，并且其中所述第一次提到的倾斜狭缝是所述第一多个倾斜狭缝之一。